Robot delta (robot cánh tay song song) được phát minh vào đầu những năm 1980 bởi một nhóm nghiên cứu do giáo sư Reymond Clavel dẫn đầu tại École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL, Thụy Sĩ).[4] Sau chuyến viếng thăm một nhà sản xuất sô cô la, một thành viên trong nhóm muốn phát triển một robot để đặt pralines trong các gói của họ.[5] Mục đích của loại robot mới này là nâng hạ các vật thể nhẹ và nhỏ với tốc độ rất cao, một nhu cầu trong công nghiệp tại thời điểm đó.

Năm 1987, công ty Demaurex của Thụy Sĩ đã mua giấy phép cho robot delta và bắt đầu sản xuất robot delta cho ngành đóng gói. Năm 1991 Reymond Clavel đã trình bày luận án tiến sĩ của mình 'Conception d'un robot parallèle rapide à 4 degrés de Liberté',[6] và nhận giải thưởng Golden Robot năm 1999 cho công việc và sự phát triển của robot delta. Cũng trong năm 1999, ABB Linh hoạt tự động bắt đầu bán robot delta, FlexPicker. Đến cuối năm 1999, robot delta cũng được Sigpack Systems bán ra.

Vào năm 2017, các nhà nghiên cứu từ Phòng thí nghiệm Microrobotics của Harvard đã thu nhỏ robot với cơ cấu áp điện để chỉ còn nặng 0,43 gram với kích thước 15 mm x 15 mm x 20 mm, có khả năng di chuyển trọng tải 1,3g xung quanh không gian làm việc 7 milimet với độ chính xác 5 micromet, đạt tốc độ 0,45 m / s với gia tốc 215 m / s² và các hành động lặp lại ở tần số 75 Hz.[7]